以储氢合金为例，气固反应吸氢过程大致可分为3个步骤：

① 氢的表面吸附和分解 氢分子在储氢合金表面解离为活性氢原子，活性氢原子被合金表面吸附并进一步形成化学吸附，此过程的反应速率取决于储氢合金表面的催化活性；

② 氢的扩散 氢被吸附越过固气界面后，在储氢合金基体中的扩散。该过程的速度受合金颗粒表面氧化膜的厚度及致密性、合金的颗粒尺寸及氢在合金和氢化物中的扩散系数等因素影响；

③ α↔β相变 当储氢合金表面的α相氢浓度C_α升高至高于β相时，在过饱和度（C_α-C_β）的作用下，α相开始逐渐转变为β相并不断吸氢，此过程的速度主要受β相的形核与生长速度制约。